NS系列機(jī)器人
經(jīng)典水平多關(guān)節(jié)手臂
NS系列無塵機(jī)器人以其長期現(xiàn)場使用證明其具有300mm晶圓搬運(yùn)所需的可靠性和高水平性能。NS系列的RTZ操縱器運(yùn)動(dòng)功能，具有線性軸的可選長度，以實(shí)現(xiàn)額外的FOUP伸展范圍。
SEMI F47合規(guī)NS型號(hào)可以瞬時(shí)響應(yīng)電波動(dòng)，如電壓下降，并且在電壓恢復(fù)時(shí)自動(dòng)恢復(fù)運(yùn)行。SEMI S2合規(guī)NS型號(hào)可以滿足對環(huán)境和人身安全的特殊考慮。碰撞檢測軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能，以減少碰撞所造成精密、專用設(shè)備的損壞。翻轉(zhuǎn)夾持軸NS411型號(hào)有一個(gè)附加軸，用于在水平和垂直角度搬運(yùn)晶圓。懸掛式安裝NS511型號(hào)具有吊裝規(guī)格設(shè)計(jì)，用于在化學(xué)液體環(huán)境中使用，同時(shí)滿足ISO 5級的要求。
NS系列的規(guī)格
| 型號(hào) |
NS410 |
NS411 |
NS420 |
NS510 |
NS511 |
| 構(gòu)造 |
水平多關(guān)節(jié)型 |
| 自由度 |
3 軸 |
4 軸 |
4 軸 |
3 軸 |
4 軸 |
| 運(yùn)動(dòng)范圍 |
Y 軸
（行進(jìn)JT1） |
2 FOUP: 660 mm / 3 FOUP: 1,070 mm
4 FOUP: 1,670 mm |
- |
- |
θ 軸
(旋轉(zhuǎn)JT2) |
380° |
325° |
325° |
360° |
473° |
Z 軸
(上下JT3) |
380 mm |
380 mm |
380 mm |
440 mm |
440 mm |
X 軸
(上下JT4) |
710 mm |
798 mm |
X1: 646.8 mm
X2: 646.8 mm |
598 mm |
816.5 mm |
F 軸
(旋轉(zhuǎn)JT5) |
- |
156° |
- |
- |
200° |
| 重復(fù)性 |
± 0.1 mm （晶圓中心） |
| 無塵度*1 |
ISO 2級 |
ISO 5級 |
| 控制柜 |
D60/D61 (規(guī)格見無塵控制柜) |
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