SJ5100高精度光栅测长机采用进口高精度光栅测量系统、高精密研磨直线导轨、高精度温度补偿系统、双向恒测力系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种长度参数的高精度测量。在半导体制造行业中，可以用来测量芯片线宽和间距等微小尺寸参数。整个测量过程不超过3分钟，结束后自动生成结果及记录报表。

SJ5100高精度光栅测长机既可以检定螺纹/光面量规、量块、外径千分尺、针规、指示表等各种量具又可以测量齿轮、花键、校对棒等精密工件。测长机广泛应用于机械制造业、工具、量具制造业及仪器仪表制造业等企业的计量室和各级计量鉴定部门。

 

仪器主要功能

1、标配功能：

检测量块&块规：（0.1~300mm）；

光滑环规：φ5~φ200mm（壁厚≤50 mm，高度≤50mm）、光滑塞规：φ1~φ220mm；

螺纹环规：M5~M200（螺距0.8~4mm）

螺纹塞规：M1~M220（螺距0.25~5.5mm）；

光滑卡规：内卡5~200mm，外卡1~300mm

千分尺校对杆：25~300mm；

塞尺：0.02~1mm

针规：φ0.1~φ10mm

三针：0.118~6.585mm；

两点内径千分尺：25~300mm；

2、可选配功能：

小型光滑环规：φ0.8~φ5mm；

螺纹环规：规格M3~M4（螺距0.5~0.7mm）；

光滑锥度环规：φ5~φ200mm（厚度≤50mm）；

光滑锥度塞规：φ5~φ60mm（长度10~100mm）；φ60~φ200mm（长度≤50mm）；

螺纹锥度环规：M5~M200mm（厚度≤50mm）；

螺纹锥度塞规：M5~M60mm（长度10~100mm）；M60~M200mm（长度≤50mm）；

锯齿螺纹、梯形螺纹：M3~M400（螺距0.5~6mm）；

花键环塞规/花键及标准齿轮（跨棒距测量）：内φ10~φ200mm，外φ5~φ200mm，模数0.8~6mm；

外径千分尺示值误差手动校准：25~300mm；

数显及游标卡尺示值误差手动校准：75~300mm；

深度千分尺示值误差手动校准：0~25、25~50、50~75mm；

三爪内径千分尺手动校准：φ6~φ200mm；

表类（百分表、千分表、杠杆表手动校准）；

数显半径规手动校准：R5~R700mm；

轴承内外圈锥度、沟槽底径内外径及沟槽宽度、精密零部件的长度尺寸，内外径尺寸测量；

SJ5100高精度光栅测长机广泛应用于机械制造业、工具、量具制造业及仪器仪表制造业等企业的计量室和各级计量鉴定部门。

应用案例如：

机械制造：在机械制造过程中，可以用来测量各种零件的尺寸和形状，以确保产品的质量和精度。

半导体制造：在半导体制造行业中，可以用来测量芯片线宽和间距等微小尺寸参数。

光学加工：在光学加工领域中，可以用来测量光学元件的表面形貌和厚度等参数。

航空航天：在航空航天领域中，可以用来测量航空器的外形和尺寸，以及检测零部件之间的配合精度。

 

主要技术指标

 

环境条件

参考校准/使用环境温湿度：

温度：20±2℃，波动不超过0.5℃/小时

相对湿度：10~70%。

振动：按照三坐标振动要求标准，振动速度均方根≤5um/s，振动频率8~100Hz；

校准室内应无影响测量的灰尘、震动、噪音、气流、腐蚀性气体和较强磁场。

恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

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